ASU đông lạnh cho sản xuất chất bán dẫn
Bộ tách khí đông lạnh Shenger Gas là thiết bị xử lý cốt lõi được thiết kế đặc biệt cho các ngành công nghiệp tiên tiến như sản xuất chip bán dẫn. Bằng cách sử dụng công nghệ chưng cất đông lạnh đã được chứng minh, họ tách không khí trong khí quyển thành nitơ, oxy và argon có độ tinh khiết cực cao. Tập trung vào ý tưởng thiết kế ASU đông lạnh dành cho sản xuất chất bán dẫn, dòng sản phẩm này đảm bảo nguồn cung cấp khí xử lý ổn định và đáng tin cậy với mức độ tinh khiết đạt đến phạm vi ppb - đóng vai trò là nền tảng quan trọng để duy trì hiệu suất chip, tính nhất quán của quy trình và hiệu quả sản xuất tổng thể.
Tại sao sản xuất chất bán dẫn cần có bộ phận tách khí đông lạnh chuyên dụng?
Các quy trình chế tạo chất bán dẫn - chẳng hạn như lắng đọng hơi hóa học, quang khắc và khắc axit - yêu cầu độ tinh khiết, độ ổn định và tính liên tục của nguồn cung cấp khí cực cao. Ngay cả một lượng nhỏ tạp chất độ ẩm, oxy hoặc hydrocarbon cũng có thể gây ra lỗi tấm bán dẫn hoặc loại bỏ toàn bộ lô. Shenger Gas hoàn toàn hiểu rõ những yêu cầu nghiêm ngặt này của ngành. ASU đông lạnh dành cho các giải pháp sản xuất chất bán dẫn của chúng tôi được phát triển đặc biệt để giải quyết những thách thức này - cung cấp nguồn cung cấp khí cực kỳ tinh khiết, ổn định và không bị gián đoạn nhằm bảo vệ năng suất, độ chính xác của quy trình và độ tin cậy trong sản xuất.
Ưu điểm và tính năng cốt lõi
1. Độ tinh khiết cực cao và độ ổn định vượt trội
- Thông qua việc tích hợp sâu các-cột chưng cất nhiều giai đoạn và hệ thống lọc sàng phân tử, ASU của Shenger Gas liên tục cung cấp nitơ với mức độ tinh khiết Lớn hơn hoặc bằng 99,9999%, trong khi các tạp chất chính (H₂O, O₂, THC, CO, CO₂) được kiểm soát chặt chẽ trong phạm vi ppb.
- Hệ thống điều khiển thông minh bù đắp một cách hiệu quả các dao động của lưới điện và biến đổi tải, đảm bảo áp suất đầu ra ổn định và độ tinh khiết - đáp ứng đầy đủ các yêu cầu sản xuất liên tục 24/7 của các nhà máy bán dẫn.
2. Độ tin cậy cao và hiệu quả năng lượng
- Các bộ phận cốt lõi như bộ trao đổi nhiệt dạng tấm-và van đông lạnh có nguồn gốc từ các thương hiệu quốc tế hàng đầu, đảm bảo khả năng tích hợp hệ thống cao, tỷ lệ hỏng hóc tối thiểu và Thời gian trung bình giữa các lần hỏng hóc (MTBF) vượt xa tiêu chuẩn ngành.
- Với hệ thống thu hồi năng lượng được tối ưu hóa và công nghệ giãn nở-tăng áp{1}}hiệu suất cao, mức tiêu thụ năng lượng cụ thể tổng thể trên mỗi đơn vị khí sản phẩm giảm đáng kể, giúp khách hàng tiết kiệm đáng kể chi phí vận hành dài hạn-.
3. Vận hành thông minh và bảo trì từ xa
- Được trang bị nền tảng giám sát "Đám mây khí thông minh Shenger" độc quyền của Shenger Gas, hệ thống này cho phép-theo dõi hiệu suất theo thời gian thực, dự đoán lỗi và phân tích hiệu suất năng lượng-.
- Nó hỗ trợ chẩn đoán từ xa và hỗ trợ kỹ thuật, rút ngắn đáng kể thời gian phản hồi bảo trì và cung cấp dịch vụ hậu mãi đáng tin cậy, hiệu quả-cho khách hàng trên toàn thế giới.
4. Thiết kế mô-đun và khả năng mở rộng
- Kiến trúc hệ thống mô-đun đảm bảo cấu trúc nhỏ gọn, vận chuyển thuận tiện cũng như-lắp đặt và vận hành tại chỗ nhanh chóng, rút ngắn hiệu quả chu kỳ xây dựng dự án.
- Năng lực sản xuất có khả năng mở rộng cao, cho phép cấu hình linh hoạt để phù hợp với việc mở rộng nhà máy trong tương lai - bảo vệ khoản đầu tư-dài hạn và tính bền vững trong hoạt động của khách hàng.
Thông số kỹ thuật (Ví dụ điển hình)
|
tham số |
Thông số kỹ thuật / Phạm vi |
|
Khí sản phẩm |
Nitơ có độ tinh khiết cao (HPN₂), Oxy có độ tinh khiết cao (HPO₂), Argon có độ tinh khiết cao (HPAr) |
|
Năng lực sản xuất nitơ |
500 ~ 50.000 Nm³/h (có thể tùy chỉnh theo yêu cầu) |
|
Độ tinh khiết của nitơ |
Lớn hơn hoặc bằng 99,9999% (lên tới 99,99999%) |
|
điểm sương |
Nhỏ hơn hoặc bằng –70 độ (cấu hình tùy chọn dưới –100 độ) |
|
Áp suất đầu ra |
0,5 ~ 1,2 MPa.G (có thể điều chỉnh) |
|
Tạp chất chính |
O₂ Nhỏ hơn hoặc bằng 1 ppb, H₂O Nhỏ hơn hoặc bằng 1 ppb, THC (dưới dạng CH₄) Nhỏ hơn hoặc bằng 1 ppb |
Lưu ý: Các thông số kỹ thuật trên thể hiện phạm vi tham số chung. Cấu hình cuối cùng được xác định dựa trên các yêu cầu quy trình và dự án cụ thể.
Các ngành ứng dụng
Tận dụng khả năng cốt lõi của mình để cung cấp nguồn cung cấp khí có độ tinh khiết cực cao và độ ổn định cao, hệ thống tách không khí đông lạnh của Shenger Gas không chỉ đóng vai trò là nền tảng của sản xuất chất bán dẫn mà còn được áp dụng rộng rãi trong các ngành công nghệ cao-công nghệ cao khác, nơi chất lượng khí là sứ mệnh-quan trọng.
- Sản xuất màn hình phẳng
Để có quy trình sản xuất hoàn chỉnh OLED, Micro{0}}LED và các bảng hiển thị-thế hệ tiếp theo khác - bao gồm chế tạo mảng, bộ lọc màu, lắp ráp tế bào và đóng gói mô-đun -, hệ thống của chúng tôi cung cấp một lượng lớn nitơ có độ tinh khiết cực cao-cao{5}}. Điều này tạo ra bầu không khí sạch, không có oxy, không có hơi ẩm, giúp ngăn chặn hiệu quả quá trình oxy hóa các bóng bán dẫn màng mỏng- và vật liệu phát quang hữu cơ, đảm bảo năng suất cao hơn và tuổi thọ sản phẩm dài hơn.
- Quang điện và năng lượng mới
Các giải pháp của Shenger Gas hỗ trợ ngành quang điện trong quá trình tinh chế silicon, phát triển tinh thể và phủ tế bào cũng như các giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất pin lithium như làm khô điện cực, đổ đầy chất điện phân và hàn kín -, tất cả đều cực kỳ nhạy cảm với độ ẩm và oxy. Nguồn cung cấp khí có độ tinh khiết cao{2}}đáng tin cậy và tiết kiệm chi phí-của chúng tôi giúp nâng cao hiệu suất sản phẩm, mật độ năng lượng và độ an toàn tổng thể.
- -Hóa chất và dược phẩm cao cấp
Trong quá trình tổng hợp hóa học tinh vi, sản xuất vật liệu đặc biệt và các quy trình dược phẩm sinh học, khí của chúng tôi được sử dụng để che phủ lò phản ứng, thay thế khí quyển và làm khí cấp cho các phản ứng. Với độ ổn định đặc biệt và khả năng kiểm soát tự động hóa tiên tiến, hệ thống đông lạnh của chúng tôi đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt của ngành về tính toàn vẹn của quy trình, độ an toàn và tính nhất quán của sản phẩm.
- Nghiên cứu khoa học và hàng không vũ trụ
Shenger Gas cung cấp môi trường đông lạnh và các giải pháp khí đặc biệt cho các ứng dụng tiên phong chẳng hạn như-thí nghiệm vật lý hạt quy mô lớn, thử nghiệm trong hầm gió hàng không vũ trụ và nghiên cứu vật liệu siêu dẫn. Hiệu suất ổn định và đáng tin cậy của các ASU đông lạnh của chúng tôi hỗ trợ sự phát triển cơ sở hạ tầng khoa học-cấp quốc gia và những đột phá trong các công nghệ-tiên tiến.
Chất lượng và Chứng nhận
Shenger Gas cam kết tuân thủ các tiêu chuẩn quốc tế cao nhất về chất lượng và an toàn. Mỗi ASU đông lạnh dành cho hệ thống sản xuất chất bán dẫn mà chúng tôi cung cấp đều được thiết kế, sản xuất và thử nghiệm theo các khuôn khổ toàn cầu nghiêm ngặt để đảm bảo độ tin cậy, tính nhất quán và tuân thủ trên tất cả các giai đoạn - từ thiết kế kỹ thuật đến vận hành tại hiện trường.
- Hệ thống quản lý chất lượng: Được chứng nhận theo tiêu chuẩn ISO 9001:2015, đảm bảo-kiểm soát chất lượng toàn bộ quy trình từ thiết kế, mua sắm, sản xuất đến-dịch vụ hậu mãi.
- Bình áp lực và đường ống: Tất cả các thành phần áp suất tới hạn và hệ thống đường ống đều được thiết kế và sản xuất theo ASME BPVC Phần VIII, Phân khu 1 và được chứng nhận theo hệ thống NB (Ủy ban Quốc gia), đảm bảo an toàn cho thiết bị nội tại.
- Tuân thủ về điện và an toàn: Hoàn toàn tuân thủ các tiêu chuẩn quốc tế IEC/EN và được trang bị Hệ thống thiết bị an toàn (SIS) toàn diện để khóa liên động và bảo vệ quy trình.
- Tiêu chuẩn ngành: Thiết kế và hiệu suất của hệ thống tuân thủ nghiêm ngặt các nguyên tắc và phương pháp hay nhất của SEMI (Thiết bị và Vật liệu bán dẫn quốc tế) dành cho hệ thống cung cấp khí cấp bán dẫn-.
Là doanh nghiệp hàng đầu trong ngành khí công nghiệp của Trung Quốc, Shenger Gas có hơn 20 năm kinh nghiệm về công nghệ đông lạnh và kiến thức chuyên môn sâu rộng về thực hiện dự án. Chúng tôi không chỉ cung cấp thiết bị tiên tiến mà còn cung cấp các dịch vụ kỹ thuật chìa khóa trao tay toàn diện - bao gồm tư vấn dự án, thiết kế quy trình, lắp đặt và vận hành, đào tạo vận hành và hỗ trợ phụ tùng thay thế. Chọn ASU đông lạnh của chúng tôi cho sản xuất chất bán dẫn có nghĩa là chọn một đối tác lâu dài đáng tin cậy- chuyên tâm nâng cao độ tin cậy và khả năng cạnh tranh của chuỗi cung ứng chất bán dẫn toàn cầu.
Nếu bạn đang tìm kiếm giải pháp cung cấp khí có độ tinh khiết cao-đáng tin cậy cho dự án sản xuất chất bán dẫn của mình, chúng tôi mời bạn liên hệ với nhóm kỹ thuật của Shenger Gas ngay hôm nay. Các chuyên gia giàu kinh nghiệm của chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn-đề xuất kỹ thuật phù hợp và báo giá có tính cạnh tranh cao để đáp ứng các yêu cầu chính xác của dự án của bạn.






Chú phổ biến: asu đông lạnh cho sản xuất chất bán dẫn, Trung Quốc asu đông lạnh cho nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy sản xuất chất bán dẫn
Bạn cũng có thể thích
Gửi yêu cầu










